干式真空泵主要在半导體(tǐ)行业、化學(xué)工(gōng)业、薄膜产(chǎn)业得到应用(yòng)与发展。國(guó)外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导體(tǐ)行业已全部用(yòng)干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导體(tǐ)行业45%以上用(yòng)干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产(chǎn)品的性能(néng)和质(zhì)量。
有(yǒu)些真空泵是两个電(diàn)机同步驱动,在确保全速和扭矩控制的同时,保证在泵运行时维持无部件相互接触;
无密封设计,确保无泄露;
通过对内表面温度的控制以满足新(xīn)的ATEX防爆条例的要求。由于能(néng)够维持最小(xiǎo)的内部温度,从而能(néng)控制泵送气體(tǐ)的冷凝和由于腐蚀可(kě)能(néng)造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质(zhì),安(ān)全的输送易燃易爆气體(tǐ)。
1)清洁环保;
2)真空度高;
3)防腐设计(专利技(jì )术);
4)可(kě)抽除可(kě)凝性气體(tǐ)及少量粉尘气體(tǐ)(专利技(jì )术);5)特殊轴封设计,杜绝被抽介质(zhì)与润滑系统互相污染;
6)防过载设计;
7)运转平稳;
8)高标准配置;
9)附件配置齐全
10)优质(zhì)健全的零配件供应。